Type
Apparatuur
Acroniem
SEM + EDS
Code
APP/00283
Datum van ingebruikname
01-01-2006 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
elementenanalyse
microstructuur
oppervlaktebeeldvorming
hoge vergroting
rasterelektronenmicroscopie
energiedispersieve röntgenspectroscopie
Merknaam/fabrikant
JEOL JSM-5600
Andere informatie
Omschrijving
Een scanning elektronenmicroscoop (SEM) met wolfraamfilament, uitgerust met detectoren voor secundaire elektronen, teruggekaatste elektronen en kathodoluminescentie. Hiermee kunnen oppervlakken worden afgebeeld en elementanalyses worden uitgevoerd via energie-dispersieve röntgenspectroscopie (EDS).