Type
Apparatuur
Acroniem
FIB-SEM
Code
APP/00263
Datum van ingebruikname
01-01-2011 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
metrologie
FIB
scanning elektronenmicroscoop
nanopatronering
doorsnede analyse
gefocusseerde ionenbundel
SEM
Merknaam/fabrikant
FEI Nanonova 600
Andere informatie
Omschrijving
SEM (Scanning Electron Microscope) kan worden gebruikt voor inspectie van substraten met een resolutie tot op nanometerschaal. De FIB (Focused Ion Beam) kolom kan worden gebruikt voor het maken van doorsneden in vrijwel elk materiaal om "in" het materiaal te kijken. Ondersteund onder meer electron backscatter diffraction (EBSD), verschillende etsgasinjectoren, Auto-slice&View en nanomanipulatoren voor TEM-slice voorbereiding.