Type
Apparatuur
Acroniem
Amicra MTP
Code
APP/00260
Datum van ingebruikname
01-11-2023 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
micro-transfer printing
chiplet integratie
stempel transfer
Merknaam/fabrikant
ASM AMICRA Microtechnologies
Andere informatie
Omschrijving
Micro-transferprinter voor wafers tot 300 mm, met uitlijningsnauwkeurigheid van ±0,5 µm en stempels tot 20×20 mm.