Infrastructuur

Micro-transferprintsysteem op waferschaal (200mm wafers)

Type
Apparatuur
Acroniem
Amicra MTP
Code
APP/00260
Datum van ingebruikname
01-11-2023 → …
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
micro-transfer printing chiplet integratie stempel transfer
Merknaam/fabrikant
ASM AMICRA Microtechnologies
Andere informatie
 
Omschrijving

Micro-transferprinter voor wafers tot 300 mm, met uitlijningsnauwkeurigheid van ±0,5 µm en stempels tot 20×20 mm.