Type
Apparatuur
Acroniem
ThetaMetrisis
Code
APP/00251
Datum van ingebruikname
01-03-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
film uniformiteit
optische metrologie
geautomatiseerde scanning
dunne film mapping
Merknaam/fabrikant
ThetaMetrisis - FR-Scanner-AIO XY200 UV/NI
Andere informatie
Omschrijving
Volledig geautomatiseerd meetsysteem voor karakterisering van dunne films op wafers. Biedt XY-verplaatsing tot 200 mm en vacuümfixatie van het substraat.