Type
Apparatuur
Acroniem
JEOL polisher
Code
APP/00324
Datum van ingebruikname
01-01-2011 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
ionstraalpolijsten
dwarsdoorsnedepreparatie
oppervlaktegladmaking
Merknaam/fabrikant
Jeol IB-09010CP
Andere informatie
Omschrijving
Polijstmachine voor dwarsdoorsneden met behulp van een ionenbundel. Gebruikt versnelde argonionen (2–6 kV) om materiaal nauwkeurig van het monsteroppervlak te verwijderen.