Type
Apparatuur
Acroniem
MCS8
Code
APP/00250
Datum van ingebruikname
01-01-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
semi-qeautomatiseerd systeem
fotoresist ontwikkelen
fotolithografie
fotoresist spincoaten
Merknaam/fabrikant
SUSS MicroTec
Andere informatie
Omschrijving
Semi-geautomatiseerd systeem voor resistcoating en -ontwikkeling, uitgerust met RCD8-modules en HP8 hotplates. Ondersteunt wafers van 100 mm en 200 mm.