In NANOFICS zullen Europlasma en UGent een grote ALD-reactor ontwikkelen om polymeren en polymeer gebaseerde 3D-structuren te gaan coaten met een inorganische nanocoating. De ontwikkeling van de ALD-reactor is enerzijds gebaseerd op de knowhow van Europlasma in het bouwen van lage druk plasmasystemen en anderzijds op de expertise in UGent voor het ontwikkelen van ALD-processen