Type
Apparatuur
Acroniem
Tencor
Code
APP/00311
Datum van ingebruikname
01-01-1995 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
stylusmeting
nanometerresolutie
hoogtedetectie
oppervlakteprofilering
Merknaam/fabrikant
Tencor Alphastep 200
Andere informatie
Omschrijving
Stylusprofilometer voor het meten van hoogteprofielen op substraten, van honderden micrometers tot tientallen nanometers. Gebruikt een naaldsonde om oppervlakteschommelingen te detecteren en berekenen.