Type
Apparatuur
Acroniem
Tencor
Code
APP/00311
Datum van ingebruikname
01-01-1995 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
stylusmeting
nanometerresolutie
hoogtedetectie
oppervlakteprofilering
Merknaam/fabrikant
Tencor Alphastep 200
Andere informatie
Omschrijving
Stylus profilometer for measuring surface height profiles on substrates, from hundreds of micrometers to tens of nanometers. Uses a needle probe to detect and calculate surface displacements.