Type
Apparatuur
Acroniem
Unitemp - PI/BCB
Code
APP/00257
Datum van ingebruikname
01-07-2006 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
wafer verwarming
thermische verwerking
compacte oven
Merknaam/fabrikant
Unitemp RSS-450-110
Andere informatie
Omschrijving
De Unitemp RSS-450-110 is een kleine oven die wordt gebruikt voor de thermische verwerking van PI of BCB. De maximale substraatgrootte is 4 inch.